"Кўп қатламли структураларнинг параметрларини аниқлашнинг сиғимли методи "

Ushbu bitiruv malakaviy ishi "Ko'pqatlamli strukturallarning parametrlarini aniqlashning sig'imli metodi" mavzusiga bag'ishlangan bo'lib, unda Al – SiO2 – n-Si turdagi metall-dielektrik-yarimo'tkazgich (MDY) strukturalarining asosiy parametrlari, jumladan, yarimo'tkazgich materialining tipi, dielektrik qatlamning sig'imi va qalinligi, hamda legirlovchi kirindining konsentratsiyasi eksperimental va nazariy usullar yordamida aniqlangan. Ishda yarimo'tkazgich texnologiyasida keng qo'llaniladigan yuqori chastotali C-V usulining afzalliklari, uning nazariy asoslari va mavjud uskunalar bilan o'lchash jarayonlari batafsil yoritilgan. Shuningdek, MDY strukturalarining volt-farada xarakteristikalarining har qanday tashqi omillarga (temperatura, yorug'lik va h.k.) bog'liqligi tahlil qilingan.

Asosiy mavzular

MDY strukturalarining asosiy parametrlarini aniqlash usullari: Ushbu bo'limda MDY strukturalarining parametrlari, jumladan yarimo'tkazgich materialining tipi, dielektrik qatlamning sig'imi, qalinligi va legirlovchi kirindining konsentratsiyasini aniqlash uchun ishlatiladigan sig'im usullari va ularning nazariy asoslari, jumladan, yuqori chastotali C-V usuli batafsil yoritilgan. Tajribaviy va nazariy olingan natijalar solishtirilib, MDY strukturasining samaradorligini baholash uchun muhim bo'lgan parametrlarni aniqlash usullari tahlil qilingan.
Eksperimental va nazariy natijalarning solishtirilishi: Ushbu qismda Al – SiO2 – n-Si turdagi MDY strukturalarining eksperimental olingan volt-farada xarakteristikasi va nazariy hisoblangan xarakteristikasi solishtirilgan. Shu asosda strukturadagi sirtdagi holatlar zichligi aniqlangan. Eksperimental va nazariy ma'lumotlar o'rtasidagi farqlar, ularning sabablari va ta'siri muhokama qilingan. Shuningdek, MDY strukturasi uchun olingan asosiy parametrlarning qiymatlari keltirilgan.