Кинетик жараёнларни математик моделлаштириш билан тензосезгир (Bi Sb) 2 Те 3 юпқа пардаларни олиш технологиясини бошқариш

Ushbu dissertatsiya avtoreferati O'zbekiston Milliy universiteti qoshidagi Yarimo'tkazgichlar fizkasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti huzuridagi ilmiy darajalar beruvchi DSc.03/30.12.2019.FM/T.01.12 raqamli Ilmiy kengash tomonidan himoya qilingan texnika fanlari bo'yicha falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasiga bag'ishlangan. Asosiy maqsadi - vismut-surma tizimining qotishmalari asosidagi, yuqori tenzosezgirlikka ega bo'lgan polikristall nazik pardalarni olish texnologiyasini boshqarish uchun kinetik jarayonlarning matematik modelini ishlab chiqish. Tadqiqotda nazariy va eksperimental natijalar taqdim etilgan bo'lib, unda nanoelektronika, yarimo'tkazgichlar fizikasi va materialshunoslik sohalaridagi dolzarb muammolar ko'rib chiqilgan.

Asosiy mavzular

Tenzosezgir (Bi,Sb)2Te3 nazik pardalarni olish texnologiyasini boshqarish: Ushbu mavzu doirasida yarimo'tkazgich materiallarini ishlab chiqarish texnologiyalarini optimallashtirish, ularning fizik-kimyoviy jihatlarini o'rganish hamda nazariy va amaliy asoslarini ishlab chiqishga qaratilgan tadqiqotlar keltirilgan. Kinetik jarayonlarning matematik modellari yaratilgan va tajriba natijalari bilan solishtirilgan.
Kinetik jarayonlarning matematik modellashtirilishi: Dissertatsiyada nazariy va eksperimental tadqiqotlar asosida yarimo'tkazgich strukturalaridagi kinetik jarayonlarning matematik modellari yaratilgan. Ushbu modellar orqali materiallar xossalari va texnologik jarayonlarni boshqarish imkoniyatlari o'rganilgan.
Yarimo'tkazgich fizikasi va mikroelektronika: Tadqiqot ishlari yarimo'tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika sohasidagi zamonaviy muammolarni, jumladan, nazik pardalar texnologiyasi va ularning fizik xossalarini o'rganishga bag'ishlangan.