Вольфрам ва молибден билан легирланган кремнийнинг электрофизик хусусиятлари

Ushbu avtoreferat O‘zbekiston Milliy universiteti huzuridagi Yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti tomonidan tayyorlangan va unda Anifa Daribaevna Paluanova tomonidan tayyorlangan

Asosiy mavzular

• Fizika-matematika fanlari bo‘yicha falsafa doktori (PhD) dissertatsiyasi: Ushbu dissertatsiyada kremniyga volfram va molibden qo‘shimchalari bilan legirlash natijasida hosil bo‘ladigan nuqsonlar va ularning tuzilishi, shuningdek, texnologik qo‘shimchalarning ushbu qo‘shimchalarning xatti-harakatlariga ta'siri haqida tadqiqot o‘tkazilgan. Tadqiqotda yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronikasi sohasidagi fundamental va amaliy muammolarni hal etishga qaratilgan tadqiqot ishlari amalga oshirilgan.
• Volt-amper xarakteristikalari (VAХ) va DLTS spektrlari: Volfram va molibden bilan legirlangan kremniy namunalari uchun volt-amper xarakteristikalari (VAХ) va DLTS spektrlari olingan va tahlil qilingan. Ushbu natijalar asosida nuqson markazlarining hosil bo‘lish jarayonlari va ularning energiyaviy spektrlari o‘rganilgan.
• Qo‘shimchalarning ta’siri va tuzilishi: Tadqiqotda volfram va molibden qo‘shimchalarining kremniy tuzilishiga ta’siri, jumladan, ularning eruvchanligi, konsentratsiyasi va elektr aktivligi o‘rganilgan. Shuningdek, texnologik qo‘shimchalarning (kislorod, uglerod) ushbu jarayonlarga ta’siri ham ko‘rib chiqilgan.
• Termik va radiatsion ta’sir: Volfram va molibden bilan legirlangan kremniyning termik barqarorligi va radiatsion chidamliligi tadqiq etilgan. Termik va radiatsion ta’sirning nuqsonlarning hosil bo‘lishiga ta’siri aniqlangan.