3d-элементлар билан легирланган кремнийда киришмаларнинг ўзаро таъсирлашув жараёнлари

Ushbu avtoreferat 3d-elementlar bilan legirlangan kremniydagi metall-kremniy o'zaro ta'sir jarayonlarini o'rganishga bag'ishlangan tadqiqot natijalarini o'z ichiga oladi. Tadqiqotda, shuningdek, kiritilgan qo'shimcha elementlarning kremniy xossalari va termal barqarorligiga ta'sirini o'rganishga qaratilgan.

Asosiy mavzular

• 3d-elementlar bilan legirlangan kremniyda chuqur sathli va texnologik kirishmalar o'zaro ta'sir jarayonlarini o'rganish: Tadqiqotda xrom, kobalt va marganes kabi 3d-elementlarning kremniyga kiritilishi va ularning chuqur sathlar hosil qilish samaradorligi o'rganilgan. Shuningdek, bu elementlarning kremniyning optik va termal xossalariga ta'siri tahlil qilingan.
• Oksigen va boshqa texnologik kirishmalarning 3d-elementlarning chuqur sath hosil qilish samaradorligiga ta'siri: Oksigen va boshqa texnologik kirishmalar mavjudligida 3d-elementlarning chuqur sathlar hosil qilish samaradorligi kamayishi aniqlangan. Bu xulosalar DLTS, fotoemkost va IR-spektroskopiya kabi usullar yordamida tasdiqlangan.
• 3d-elementlar va nodir yer elementlarining o'zaro ta'siri: Tadqiqotda, shuningdek, 3d-elementlar va nodir yer elementlarining (golmiy, gadoliy) o'zaro ta'sirining kremniy xossalariga ta'siri o'rganilgan. Bu o'zaro ta'sir 3d-elementlarning chuqur sath hosil qilish samaradorligini oshirishi hamda termal va radiatsion nuqsonlarni kamaytirishi aniqlangan.