Кремний монокристалли сиртида олинган юпқа металл силицидларнинг тузилиши, электрон ва оптик хусусиятлари ва улар асосида гетероструктуралар ҳосил қилиш
Ushbu dissertatsiya avtoreferati «Kremniy monokristalli sirtida olingan yupqa metall silitsidlarining tuzilishi, elektron va optik xususiyatlari va ular asosida geterostrukturalar hosil qilish» mavzusiga bag'ishlangan bo'lib, unda metal silitsidlarining yangi nanoo'lchamli tuzilmalarini hosil qilish texnologiyalari, ularning elektron va optik xususiyatlari, hamda ushbu tuzilmalar asosida geterostrukturalar yaratish bo'yicha tadqiqotlar keltirilgan.
Asosiy mavzular
- Kirish: Dissertatsiya mavzusining dolzarbligi, zarurati, respublika fan va texnologiyalari rivojlanishining ustuvor yo'nalishlariga mosligi, muammoning o'rganilganlik darajasi, maqsad va vazifalari, ob'ekt va predmetlari, ilmiy yangiligi, nazariy va amaliy ahamiyati, tadqiqot natijalarini amalga oshirish, nashr etilgan ilmiy ishlar, dissertatsiya hajmi va tuzilishi haqida ma'lumot berilgan.
- Silitsid plyonkalari strukturasini va xususiyatlarini tadqiq qilish bo'yicha adabiyotlar tahlili: Ushbu bob kremniy yuzao'sti qatlamlarida kremniy silitsidlarining shakllanish jarayonlari, ularning tuzilishi va xususiyatlari haqidagi mavjud ilmiy tadqiqotlarni qisqacha o'rganadi.
- Nazariy tadqiqotlar: Ushbu bobda ilmiy-tadqiqot ishining dolzarbligi va zarurati, uni bajarish uchun zaruriy shart-sharoitlar va usullar batafsil yoritilgan.
- Tajriba tadqiqotlari: Ushbu bobda muallif tomonidan amalga oshirilgan eksperimental tadqiqotlar, ularda qo'llanilgan usullar, olingan natijalar va ularning tahlili keltirilgan.
- Xulosa: Dissertatsiyada erishilgan asosiy ilmiy va amaliy natijalar umumlashtirilgan va kelajakdagi tadqiqotlar uchun tavsiyalar berilgan.