Вакуумли чанглатиш ва ион-имплантация усулларида олинган Mn4Si7, ВаSi2, CoSi2 ва CoSi плёнкаларининг электрон-оптик ва электрофизик хоссалари

Ushbu doktorlik dissertatsiyasi "Elektron-optik va elektro-fizik xossalari Mn4Si7, BaSi2, CoSi2 va CoSi plyonkalari vakuumli cho'ktirish va ion implantatsiyasi usullari bilan olingan" mavzusiga bag'ishlangan. Tadqiqotda silitsidli plyonkalarni shakllantirish, ularning fizik xossalari va potensial qo'llanilish sohalari chuqur o'rganilgan. Asosiy e'tibor Mn4Si7, BaSi2, CoSi2 va CoSi kabi materiallarning termo- va elektro-fizik xususiyatlariga qaratilgan.

Asosiy mavzular

Silitsidli plyonkalarni shakllantirish usullari va mexanizmlari: Tadqiqotda Mn4Si7, BaSi2, CoSi2 va CoSi plyonkalarni hosil qilish uchun magnitronli va lazerli cho'ktirish, shuningdek ion implantatsiyasi usullarining optimal rejimlari aniqlangan. Plyonkalarning tuzilishi, morfologiyasi va elektron xossalari o'rganilgan.
Silitsidli plyonkalarning elektron-optik va elektro-fizik xossalari: Hosil qilingan plyonkalarning emissiya, optik, elektro-fizik va termo-elektrik xossalari tadqiq etilgan. Xususan, Mn4Si7 va CoSi plyonkalarning yuqori tezlik va sezgirlikka ega ekanligi aniqlangan bo'lib, ular termo-nurlanish qabul qiluvchilarda qo'llanilishi mumkinligi ko'rsatilgan.
Fotosellular va termo-elektrik qurilmalar uchun tuzilmalarni yaratish: Tadqiqotda Mn4Si7 (p-tip) va CoSi (n-tip) plyonkalari asosida termo-nurlanish detektorlari uchun geterostrukturalarni shakllantirish usullari ishlab chiqilgan.