Gʻovak kremniy va kremniy oksidi sirtida atom qatlamlab choʻktirish usulida olingan TiO2 va ZnO nanoqatlamlarining strukturaviy va optik xossalari
Ushbu avtoreferat, Turdaliyev Temur Kamilovichning «Gʻovak kremniy va kremniy oksidi sirtida atom qatlamlab choʻktirish usulida olingan TiO2 va ZnO nanoqatlamlarining strukturaviy va optik xossalari» mavzusidagi dissertatsiyasini oʻz ichiga oladi. Unda TiO2 va ZnO nanoqatlamlarining gʻovak kremniy va kremniy oksidi yuzalarida atom qatlamlab choʻktirish (ALD) usuli yordamida sintezi, ularning morfologik, strukturaviy, optik va fotoelektrik xossalari batafsil oʻrganilgan. Tadqiqot natijalari nanomateriallar fizikasi, sensor texnologiyalari, fotokataliz va fotoelektronika kabi sohalarda muhim ahamiyat kasb etadi. Avtoreferatda ilmiy yangiliklar, amaliy ahamiyati hamda kelajakdagi tadqiqotlar uchun asos boʻladigan xulosalar keltirilgan.
Asosiy mavzular
- TiO2 va ZnO nanoqatlamlarining ALD usuli bilan sintezi: Dissertatsiyada TiO2 va ZnO nanoqatlamlarini atom qatlamlab choʻktirish (ALD) usuli yordamida turli tagliklarda, xususan, gʻovak kremniy va kremniy oksidi yuzalarida sintez qilish usullari va parametrlari batafsil oʻrganilgan.
- Nanoqatlamlarning strukturaviy va morfologik xossalari: Sintezlangan TiO2 va ZnO nanoqatlamlarining morfologiyasi, tuzilishi, fazaviy tarkibi (anataz, rutil, vyorst) va kristallik xususiyatlari SEM, XRD, Raman spektroskopiyasi kabi usullar yordamida tahlil qilingan.
- Nanoqatlamlarning optik xossalari: TiO2 va ZnO nanoqatlamlarining optik qabul qilish, sindirish koʻrsatkichlari va taqiqlangan zonasi kengligi kabi optik xossalari spektral ellipsometriya usuli bilan oʻrganilgan va modellashtirilgan.
- Termik ishlovning nanoqatlamlarga ta'siri: TiO2 qatlamlarining har xil haroratlarda va vaqt davomida termik ishlov berish natijasida fazaviy oʻtish jarayonlari (amorf-anataz-rutil) va ularning optik xossalariga ta'siri tadqiq qilingan.
- Amaliy ahamiyati va joriy etilishi: Olingan natijalarning sensorlar, fotokataliz, biomeditsina va fotoelektronika sohalarida qoʻllanilishi mumkinligi koʻrsatilgan va foydali model uchun patent olinganligi ta'kidlangan.