Gazli muhitda azot oksidlari miqdorini aniqlash uchun yarim o’tkazgichli sensor
Ushbu maqolada gazli muhitda azot oksidlarini aniqlash uchun yarim o'tkazgichli sensorlar yaratish masalalari ko'rib chiqilgan. Sensorlarning sezgirligini oshirish uchun metal oksidlarining turli qalinlikdagi yupqa binar qavatlarini olishga asoslanganligi ta'kidlangan. Sensorlar atmosfera havosidagi azot oksidlarini aniqlash uchun mo'ljallangan bo'lib, turli xil xususiyatli vakillari yaratilgan. TiO2 va SnO2 larning turli qalinlikdagi yupqa qavatlari vakuumli sharoitda termik bug'latish usulida olingan. Olingan binar yupqa qatlamning qarshiligining o'zgarishi turli gazlarda har xil qiymatga ega bo'lishi sensorning sezgir elementi sifatida qo'llanilishiga imkon beradi. Havo atmosferasini T=600°C da izotermik kuydirish yupqa qoplama elektr qarshiligining barqarorlashuviga olib keladi. SnO2 qatlamiga surma, skandiy va ittriy aralashmalari qo'shilgan holda sensorlar tayyorlash texnologiyasi optimallashtirilgan.
Asosiy mavzular
- Yarim o'tkazgichli sensorlar yaratish: Gazli muhitda azot oksidlarini aniqlash uchun yarim o'tkazgichli sensorlar yaratish, sensorlarning sezgirligini oshirish uchun metal oksidlarining turli qalinlikdagi yupqa qavatlarini olish.
- Sensorlarning asosiy tarkibiy qismi: Sezgir element hisoblanadi, metallarning yupqa oksid qatlamlari yarim oʻtkazuvchanlik xossasini namoyon etadi.
- TiO2 va SnO2 qatlamlari: TiO2 va SnO2 larning turli qalinlikdagi yupqa qavatlarini vakuumli sharoitda termik bugʻlatish usulida olish. SnO2 ning yupqa qavatini termik usulda bugʻlatish yo'li bilan hosil qilib, ustini TiO2 bilan qoplab, yupqa binar qavat hosil qilindi.
- Qarshilikning o'zgarishi: Hosil qilingan binar yupqa qatlamning qarshiligining o'zgarishi turli xil gazlarda har xil qiymatga ega bo'lishi sensorning sezgir eleminti sifatida qo'lanishga imkon beradi.
- Elektr qarshiligining barqarorlashuvi: Havo atmosferasini T=600°C da izotermik kuydirish yupqa qoplama elektr qarshiligining barqarorlashuviga olib keladi.
- Sensorlar tayyorlash texnologiyasi: Donor hisoblangan surma aralashmasini yupqa qoplama qarshiligini ma'lum qiymatlarigacha kamaytirish maqsadida kiritdik, bular past darajadagi shovqin bilan ishlaydigan gazli sensorlar yaratish uchun hamda ko'p vaqt davom etadigan tajribalarda koʻrsatgichlar (datchiklar) parametrlarini turg'unlashtirish uchun zarur bo'ladi. Sc va Y aralashmalarini koʻrsatgichlarning (datchiklarning) azot oksidlariga bo'lgan ta'sirchanligini koʻtarish uchun ishlatdik.