Физические основы контактов металл
Ushbu kitob yarimo‘tkazgichli materiallar va ular asosida yaratilgan Schottky to‘siqli qurilmalarning fizik xossalarini o‘rganishga bag‘ishlangan. Asosiy e’tibor metall-yarimo‘tkazgich kontaktlaridagi jarayonlarga, tashqi ta’sirlar (radiatsiya, mikroto‘lqinli nurlanish, termik ishlov) natijasida yuzaga keladigan o‘zgarishlarga qaratilgan. Kitobda GaAs, GaP va InP asosidagi qurilmalarning xossalari tahlil qilinadi, shuningdek, ularni yaxshilash usullari, jumladan, amorf plyonkalar va porist substratlardan foydalanish masalalari ko‘rib chiqiladi. Materialshunoslik, mikroelektronika va yarimo‘tkazgichli asbobsozlik sohalari mutaxassislari uchun mo‘ljallangan.
Asosiy mavzular
- Metall-yarimo'tkazgich kontaktlarining fizik asoslari: Metall va yarimo'tkazgich o'rtasidagi kontaktlarda yuzaga keladigan elektr, optik va termik hodisalar. Schottky to'siqlari, ularning shakllanish mexanizmlari va xarakteristikalari.
- Tashqi ta'sirlarning kontaktlarga ta'siri: Gamma-radiatsiya, mikroto'lqinli nurlanish va termik ishlov berishning metall-yarimo'tkazgich kontaktlarining xossalariga ta'siri. Defektlarning hosil bo'lishi, atomlarning diffuziyasi va kontaktning barqarorligiga ta'siri.
- GaAs, GaP va InP asosidagi qurilmalar: Galliy arsenidi, galliy fosfidi va indiy fosfidi asosidagi Schottky to'siqli diodlar, Gunn diodlari va boshqa qurilmalar. Ularning xossalari, afzalliklari va kamchiliklari.
- Amorf plyonkalar va porist substratlar: Kontakt xossalarini yaxshilash uchun amorf plyonkalardan (masalan, TiBx) foydalanish. Porist substratlarning strukturaviy defektlarni kamaytirishdagi roli va qurilma xossalarini yaxshilashdagi afzalliklari.
- TiBx asosidagi kontaktlarning termik barqarorligi: TiBx plyonkalari asosidagi Schottky to‘siqli kontaktlarning yuqori haroratlarda barqarorligini o‘rganish. Termik ishlov berishning elektr va fizik xususiyatlarga ta’siri.
- Mikroto’lqinli ishlov berishning ta’siri: Schottky to‘siqli diodlarning elektr xususiyatlarini yaxshilashga yo‘naltirilgan mikroto’lqinli ishlov berishning ta’siri va mexanizmlari.