Диффузия усули билан электрон-ковак ўтишни ҳосил қилиш

Ushbu kitob yarimo'tkazgichli materiallarga примес atomlarini kiritish va elektron-kovak o'tishlarni hosil qilishning diffuziya usuliga bag'ishlangan. Kitobda diffuziya usulining afzalliklari, elektron-kovak o'tishlarni hosil qilish jarayonlari, diffuziya uskunalarining tuzilishi, turli xil diffuziya usullari (cheksiz manbadan, yarim cheksiz manbadan va cheksiz yupqa qatlamdan diffuziya), shuningdek, diffuziya jarayonida elektron-kovak o'tishlarni hosil qilish asoslari ko'rib chiqiladi. Kitob elektronika va mikroelektronika sohasida ishlaydigan mutaxassislar, ilmiy tadqiqotchilar va talabalar uchun mo'ljallangan.

Asosiy mavzular

Diffuziya usuli bilan elektron-kovak o'tishni hosil qilish: Diffuziya usulining mohiyati, afzalliklari va kamchiliklari, usulning qo'llanilishi, yarimo'tkazgichlarni legirlashning boshqa usullariga nisbatan afzalliklari
Diffuziya mexanizmlari: Diffuziya turlari (o'z diffuziya va geterodiffuziya), atomlarning sakrash mexanizmlari, Frenkel va Shottki nuqsonlari, vakansiyalar konsentratsiyasi
Fik qonunlari: Fikning birinchi va ikkinchi qonunlari, diffuziya koeffitsienti, diffuziya tenglamalari
Diffuziya turlari: Cheksiz manbadan diffuziya, yarim cheksiz manbadan diffuziya, cheksiz yupqa qatlamdan diffuziya, har bir usul uchun konsentratsiya taqsimoti
Diffuziya o'tkazish usullari: Ochiq va yopiq quvurlarda diffuziya, diffuziya jarayonining bosqichlari, legirlovchi elementlarga qo'yiladigan talablar
Elektron-kovak o'tishlarni hosil qilish asoslari: Diffuziya jarayonida elektron-kovak o'tishlarni hosil qilish, turli xil yarimo'tkazgich strukturalar