Изучение рельефа и физических свойств поверхности нанополированных материалов

Ushbu kitob nanopolirovka qilingan materiallar yuzasining relyefi va fizik xususiyatlarini o'rganishga bag'ishlangan. Unda materiallarning yuzalarini qayta ishlash usullari, xususan, kesish, silliqlash va polirovka jarayonlari batafsil yoritilgan. Shuningdek, kimyoviy-mexanik polirovka (ХМП) texnologiyasining rivojlanishi, ushbu sohadagi tadqiqotlar va ularning elektronika sanoatidagi ahamiyati ko'rib chiqilgan. Materiallarning tuzilishi, elektr xususiyatlari va kimyoviy tarkibi o'rganilib, turli xil materiallarga ХМП ta'siri tahlil qilingan. Kitobda, shuningdek, xavfsizlik choralari va iqtisodiy jihatlar ham o'rin olgan.

Asosiy mavzular

Yuzani qayta ishlash usullari: Kesish, silliqlash va polirovka usullari, ularning afzalliklari va kamchiliklari, hamda qo'llaniladigan materiallar va texnologiyalar haqida ma'lumotlar berilgan.
Kimyoviy-mexanik polirovka (ХМП): ХМП texnologiyasining mohiyati, rivojlanish tarixi, elektronika sanoatidagi roli va boshqa polirovka usullaridan farqi ko'rsatilgan.
Nanopolirovka qilingan materiallarning xususiyatlari: Materiallarning strukturaviy, elektr xususiyatlari, kimyoviy tarkibi va ularga ХМП ta'siri o'rganilgan. Yuzaning g'adir-budurligi, defektlar va boshqa xususiyatlar tahlil qilingan.
Kimyoviy-termik tozalash: Kremniy yuzasini kimyoviy-termik tozalash usullari, ularning samaradorligi va natijalari haqida ma'lumot berilgan.
Xavfsizlik va iqtisodiy jihatlar: Ish jarayonida xavfsizlik qoidalari, atrof-muhitni muhofaza qilish choralari va iqtisodiy baholashlar keltirilgan.