Электронная спектроскопия нанопленок и нанокристаллов созданных низкоэнергетической ионной бомбардировкой полупроводниковых и диэлектрических пленок

Ushbu kitob nanoplemkalar va nanokristallarning elektron spektroskopiyasiga bag‘ishlangan. Asosiy e’tibor past energiyali ion bombardimonida hosil bo‘lgan yarimo‘tkazgich va dielektrik plyonkalarning xususiyatlarini o‘rganishga qaratilgan. Kitobda nanostrukturalarni yaratish metodikasi, ularning tarkibi, strukturasi, energetik zonalar va kristall panjaralari tahlil qilingan.

Asosiy mavzular

Ion implantatsiyasi: Ion implantatsiyasi orqali nanoplemkalar va nanokristallar hosil qilish usullari va ularning xususiyatlari.
Elektron spektroskopiya: Elektron spektroskopiya usullari (Oje, UFS, rentgen fotoelektron spektroskopiyasi) yordamida materiallarning tarkibi va elektron tuzilishini o‘rganish.
Nanostrukturalar: Yarimo‘tkazgich va dielektrik materiallar asosida yaratilgan nanokristallar va nanoplemkalar, ularning kristall tuzilishi va energetik zonalari.
Geterostrukturalar: Turli materiallar asosida yaratilgan geterostrukturalar, ularning tarkibi va xususiyatlari.
Yuza fizikasi: Qattiq jism yuzasidagi atomlarning elektron xususiyatlari va bog'lanish holati