Электронная спектроскопия нанопленок и нанокристаллов созданных низкоэнергетической ионной бомбардировкой полупроводниковых и диэлектрических пленок

Ushbu kitob, yarimo'tkazgich va dielektrik plyonkalar asosida past energiyali ion bombardimon qilish orqali yaratilgan nano plyonkalar va nanokristallarning elektron spektroskopiyasini o'rganadi. Kitobda nano tuzilmalarni yaratish usullari, ularning tarkibi, kristall strukturasi, elektron xususiyatlari va turli qo'llanilish sohalari batafsil yoritilgan. Asosan ion implantatsiyasi va keyingi termik ishlov berish jarayonlari tahlil qilinadi. Materialshunoslik, fizika va elektronika sohasidagi tadqiqotchilar va mutaxassislar uchun mo'ljallangan.

Asosiy mavzular

Ion implantatsiyasi: Past energiyali ionlar bilan bombardimon qilish orqali nano tuzilmalarni shakllantirish jarayonlari va ularning optimallashtirish usullari.
Termik ishlov berish: Ion implantatsiyasidan keyin materiallarning xususiyatlarini o'zgartirish uchun termik ishlov berishning ta'siri, lazerli va haroratli ishlov berish usullari.
Elektron spektroskopiya: Oje elektron spektroskopiya (OES), tezkor elektronlar difraktsiyasi (TED), ultra-binafsha fotoelektron spektroskopiyasi (UFES) kabi elektron spektroskopiya usullari orqali nano tuzilmalarning xususiyatlarini o'rganish.
Nano plyonkalar va nanokristallar: Yarimo'tkazgich va dielektrik materiallar asosida nano plyonkalar va nanokristallarni yaratish, ularning tarkibi, kristall tuzilishi va elektron xususiyatlari.
Geterostrukturalar: Turli materiallar asosida geterostrukturalarni yaratish usullari va ularning elektron xususiyatlarini o'rganish.
Qo'llanilish sohalari: Nano plyonkalar va nanokristallarning mikro-, opto- va nanoelektronika asboblarida, xususan, quyosh batareyalari, sensorlar va elektron qurilmalarda qo'llanilishi.