Термикалык ислеу тасринде контактлык системалардагы физикалык проссеслерды уйренув

Ushbu kitob yarimo'tkazgichli qurilmalar va miktoelektronika uchun termik ishlov berish ta'sirini o'rganadi. Unda metall-yarimo'tkazgich kontaktlaridagi fazalararo o'zaro ta'sirlar, kremniyli strukturani tayyorlash texnologiyasi, elektrofizik xarakteristikalarni tadqiq qilish usullari hamda olingan tajriba natijalari va ularning tahlili keltirilgan.

Asosiy mavzular

Metall-Si kontaktli strukturalarda fazalararo o'zaro ta'sirlashuvlar: Siliidli, boridli va nitridli qatlamlarga ega Si asosidagi kontaktli strukturalarda fazalararo o'zaro ta'sirlashuvga termik tez ishlov berish ta'sirining o'rganilishi.
Kremniyli strukturalarni tayyorlash texnologiyasi va elektrofizik xarakteristikalarini tadqiq qilish usullari: Kremniyli strukturani tayyorlash usullari hamda elektrofizik xarakteristikalarini izohlash usullari bayon qilingan.
Tajriba natijalari va ularni tahlil qilish: Kremniyli kontaktli strukturalarga termik ishlov berish ta'sirida fazalararo o'zaro ta'sirlashuvning natijalari va tahlili.