Диффузия усули билан электрон-ковак ўтишни ҳосил қилиш
Ushbu kitob yarimo'tkazgichli materiallarga aralashmalar kiritish, ularning elektr fizik xossalarini boshqarish, elektron-kovak o'tishlarni hosil qilish va diffuziya usullarini qo'llashga bag'ishlangan. Kitobda diffuziya jarayonining fizik asoslari, turli xil diffuziya usullari va ularning yarimo'tkazgich qurilmalarini yaratishdagi qo'llanilishi batafsil yoritilgan. Material elektronika va mikroelektronika sohasida ishlaydiganlar uchun foydali bo'lishi mumkin. Asosiy e'tibor diffuziya jarayonlarini boshqarish, chuqurlikni aniqlash va o'tishni hosil qilishga qaratilgan.
Asosiy mavzular
- Diffuziya usuli bilan elektron-kovak o'tishni hosil qilish: Diffuziya usulining afzalliklari, elektron-kovak o'tishni olishda boshqa usullarga nisbatan qulayligi va qo'llanilishi. Yuqori temperaturadagi kamchiliklar va ularni bartaraf etish yo'llari.
- Diffuziya mexanizmlari: O'zdiffuziya va geterodiffuziya turlari, kristall panjaradagi atomlarning sakrash mexanizmlari (tugunlardagi atomlarning o'rin almashinuvi, vakansiyalar bo'yicha harakat, tugunlararo harakat).
- Diffuziya qonunlari: Fikning birinchi va ikkinchi qonunlari, diffuziya koeffitsiyenti va uning bog'liqliklari, diffuziya tenglamalari. Turli cheklanish sharoitlari uchun masalalarni yechish.
- Cheksiz manbadan diffuziya: Cheksiz manbadan diffuziya tenglamasi, yechimi va qo'llanilishi. Kirishma konsentratsiyasining taqsimoti.
- Yarim cheksiz manbadan diffuziya: Yarim cheksiz manbadan diffuziya, kam miqdordagi kirishmani kiritish usuli.
- Cheksiz yupqa qatlamdan diffuziya: Cheksiz yupqa qatlamdan diffuziya, xususiyatlari va qo'llanilishi.
- Diffuziya o'tkazish usullari: Ochiq va yopiq quvurlarda diffuziya o'tkazish usullari. Haroratning ta'siri va boshqarish usullari.
- Elektron-kovak o'tishlarni hosil qilish asoslari: Diffuziya jarayonida elektron-kovak o'tishlarni hosil qilishning asosiy tushunchalari va prinsiplari.