Особенности влияния границы раздела и протяженности области объемного заряда на электрофизические характеристики детекторных структур
Ushbu dissertatsiya ishi yarimo‘tkazgichli detektorlar elektro-fizik xususiyatlariga ta’sir etuvchi omillarni o‘rganishga bag‘ishlangan. Ishda detektorning ish sohasidagi hajm zaryadining taqsimlanishi, geterostruktura hosil qilishdagi bo‘linish chegarasi kabi omillarning detektor xarakteristikalariga ta’siri tadqiq etilgan. Si(Li) va aSi-Si(Li) asosidagi detektor strukturalar yaratish texnologiyalari ishlab chiqilgan, ularning elektro-fizik va radio-metrik xususiyatlari o‘rganilgan. Shuningdek, detektorlarda fotoo‘tkazuvchanlik jarayonlari va zaryad tashuvchilarning harakati tahlil qilingan.
Asosiy mavzular
- Si(Li) va aSi-Si(Li) detektor strukturalarni yaratish texnologiyalari: Ushbu bo'limda Si(Li) va aSi-Si(Li) asosidagi detektor strukturalar yaratishning mexanik, kimyoviy va termik usullari ko'rib chiqilgan. Detektorning optimal xususiyatlarini ta'minlash uchun diffuziya, dreyf, epitaksiya kabi texnologik jarayonlarning parametrlari (harorat, bosim, vaqt) optimallashtirilgan.
- Detektorlarning elektro-fizik va radio-metrik xususiyatlarini tadqiq etish: Ushbu bo'limda tayyorlangan detektorlarning volt-amper, volt-farad xarakteristikalari, spektral sezgirligi va boshqa muhim parametrlari o'lchanadi. Olingan natijalar nazariy modellar bilan solishtiriladi va detektorning ishlash mexanizmlari tahlil qilinadi.
- Fotoo‘tkazuvchanlik jarayonlari va zaryad tashuvchilar harakatini tahlil qilish: Ushbu bo'limda detektorlarda yutilgan yadro nurlanishi natijasida hosil bo'ladigan zaryad tashuvchilarning harakati va rekombinatsiya jarayonlari o'rganiladi. Detektorning sezgir sohasidagi elektr maydonining taqsimlanishi va uning zaryad tashuvchilar harakatiga ta'siri tahlil qilinadi.
- Amorf kremniy asosidagi geterostrukturalarning xususiyatlari: Ushbu bo’limda aSi-Si(Li) geterostrukturadagi bo’linish chegarasida yuzaga keladigan potensial to’siq, sirt holatlari va boshqa xususiyatlar o’rganiladi. Amorf qatlamning detektorning ishlashiga ta’siri tahlil qilinadi.