Кремнийнинг электрофизик хоссаларига ноёб ер элементлари-нинг ион имплантация-сининг таъсирини ўрганиш

Ushbu kitob kremniyning elektrofizik xossalariga noyob yer elementlari ion implantatsiyasining ta'sirini o'rganishga bag'ishlangan. Kitobda legirlash texnologiyalari, tadqiqot metodlari, diffuziya va ion implantatsiyasi jarayonlarida kremniyning xossalari, shuningdek termik ishlovning ta'siri batafsil yoritilgan. Tadqiqot natijalari va xulosalar keltirilgan, adabiyotlar sharhi va chop etilgan ilmiy ishlar ro'yxati taqdim etilgan.

Asosiy mavzular

• Noyob yer elementlari bilan legirlangan kremniyning xossalari: Ushbu bobda o'stirish va ion implantatsiyasi jarayonlarida noyob yer elementlari bilan legirlangan kremniyning xossalari, shuningdek diffuziyaviy legirlangan kremniyning xossalari ko'rib chiqiladi.
• Namunalarni legirlash texnologiyasi va tadqiqot metodlari: Ushbu bobda kremniy namunalarini legirlash texnologiyasi, termik ishlov berish, xossalarni tadqiq qilish metodlari va eksperimentning aniqligi baholanadi.
• Kremniyning elektrofizik xossalariga noyob yer elementi ion implantatsiyasining ta'siri: Ushbu bobda noyob yer elementi (itterbiy) bilan diffuziyaviy legirlangan kremniyning elektrofizik xossalari, shuningdek ion implantatsiya yordamida kiritilgan noyob yer elementining taqsimoti va termik ishlovning ta'siri o'rganiladi.