Исследование влияния технологических параметров ионно-плазменного процесса на состав покрытий
Ushbu kitob ion-plazma texnologiyasi yordamida turli materiallar (sirkoniy, niobiy va ularning nitridlari, oksidlar) qoplamalarini hosil qilish jarayonlarini o'rganishga bag'ishlangan. Kitobda qoplama hosil qilishning texnologik parametrlari (tok kuchi, vaqt) va ularning qoplamaning qalinligi, mikroqattiqligi, korroziyaga chidamliligi kabi xususiyatlariga ta'siri ko'rib chiqiladi. Shuningdek, qoplamalarning fazoviy va kimyoviy tarkibi, turli uskunalar va tadqiqot metodlari (elektron mikroskopiya, rentgen nurlari analizi) haqida ma'lumotlar keltirilgan.
Asosiy mavzular
- Magnetronli purkash orqali qoplama hosil qilish: Magnetronli purkash usuli bilan qoplama hosil qilishning fizikaviy asoslari, uskunalar va jarayon parametrlari (bosim, tok kuchi, harorat) ta'rifi.
- Qoplamalarning fazoviy va kimyoviy tarkibini tadqiq qilish: Rentgen-strukturaviy analiz va Oje-spektroskopiya metodlari yordamida qoplamalarning fazoviy tarkibi va elementar kimyoviy tarkibini aniqlash usullari bayon etilgan.
- Qoplamalarning mexanik xususiyatlarini tadqiq qilish: Mikroqattiqlikni o'lchash metodlari va qoplamalarning yuklamaga bardoshliligini aniqlash usullari ko'rsatilgan. Turli materiallardan qoplamalar uchun mikroqattiqlik qiymatlari keltirilgan.
- Qoplamalarning korroziyaga chidamliligini tadqiq qilish: Turli agressiv muhitlarda qoplamalarning korroziyaga chidamliligini baholash metodlari va natijalari keltirilgan.
- Texnologik parametrlarning qoplama xususiyatlariga ta'siri: Magnetronli purkash jarayonining texnologik parametrlari qoplamalarning tuzilishi, tarkibi, qalinligi, mikroqattiqligi va korroziyaga chidamliligiga qanday ta'sir qilishi batafsil tahlil qilingan.