Yarim o’tkazgichlarga kirishmalarni diffuziyalashning texnologik jarayonlari

Ushbu kitob yarim o'tkazgichli materiallarga kirishmalarni diffuziyalash jarayonlariga bag'ishlangan. Unda diffuziya nazariyasi, asosiy tenglamalar, jarayonlarning texnologik aspektlari, hamda kremniyda diffuziya qatlamlarini yaratish usullari ko'rib chiqilgan. Kitob talabalar, aspirantlar va mikroelektronika sohasidagi mutaxassislar uchun mo'ljallangan.

Asosiy mavzular

Diffuziya jarayonlarining asoslari: Diffuziya hodisasining mohiyati, fazalar orasidagi ko'chish mexanizmlari, kristall tarkibini tekislash usullari, materiallarga kimyoviy va elektrokimyoviy ishlov berish texnologiyalari.
Diffuziya jarayonlarini hisoblash: Kirishma diffuziyasini belgilaydigan jarayonlar, diffuziya tenglamasi, cheksiz va chekli kirishma manbasidan diffuziya, termik diffuziya bilan haydab kiritishda kirishmalarning taqsimotini hisoblash, to'zitishda diffuziyani hisoblash.
Yarim o'tkazgichlarga kirishmalarni diffuziyalashning texnologik jarayonlari: Diffuziya jarayonlarini o'tkazish metodikasi (gaz, suyuq, qattiq fazalardan diffuziya), diffuziya jarayonini amalga oshirish usullari (berk hajmda, gaz tashuvchi oqimida), asosiy diffuzantlar.