Влияние содержания германия и поверхностных состояний на свойства переходов металл - sI1-XgEX, на основе Al, Au, Ni и Ti

Ushbu dissertatsiya ishi Xajiyev Mardonbek Ulug'bekovich tomonidan tayyorlangan bo'lib, metall-yarimo'tkazgich kontaktlarining xususiyatlariga germaniy miqdori va sirtqi holatlarning ta'sirini o'rganishga bag'ishlangan. Asosiy e'tibor Al, Au, Ni va Ti metallari asosidagi Si1-xGex tuzilmalariga qaratilgan. Dissertatsiyada monokristallarni yetishtirish texnologiyasi, Shottki to'siqlarning xususiyatlari va sirtqi holatlarning ta'siri kabi masalalar ko'rib chiqilgan.

Asosiy mavzular

  • Metall-Si1-xGex kontaktlarining xususiyatlari: Metall turiga, germaniy miqdoriga va sirtqi holatlarga bog'liq ravishda o'rganiladi. Xususan, Al, Au, Ni va Ti metallari asosidagi kontaktlar tahlil qilinadi.
  • Si1-xGex monokristallarini yetishtirish texnologiyasi: Elektron-nurli tigelsiz zonal eritish usuli orqali monokristallarni yetishtirish jarayoni takomillashtiriladi va ularning xususiyatlari o'rganiladi.
  • Shottki to'siqlarning (ShB) xususiyatlari: ShB balandligi, sirtqi holatlar va kontaktning elektr xususiyatlari o'rganiladi. Shuningdek turli metallar bilan hosil qilingan ShB lar taqqoslanadi.
  • Sirtqi holatlarning ta'siri: Sirtqi holatlarning zichligi va ularning ShB xususiyatlariga ta'siri tahlil qilinadi. Kimyoviy ishlov berish orqali sirtqi holatlarni boshqarish imkoniyatlari ko'rib chiqiladi.