Поликристалл кремний олишнинг моносиланли технологияси ва кремний структураларини яратишнинг ионли стимуллашган усуллари

Ushbu doktorlik dissertatsiyasi kremniy polikristallarini olishning yangi usullarini va yarimo'tkazgichli materiallar asosida strukturalarni yaratishning innovatsion usullarini ishlab chiqishga bag'ishlangan. Dissertatsiyada muallif tomonidan metallurgik kremniy va spirtlar asosida alkoksisilanlar sintezi, noorganik birikmalarni qo'llash, molekulyar nurli epitaksiya va ionli stimullash kabi bir qator yangi texnologik yechimlar taklif etiladi. Shuningdek, turli sohalarda qo'llanilishi mumkin bo'lgan materiallar va qurilmalar uchun yangi heterostrukturalarni yaratish imkoniyatlari ham ko'rib chiqilgan.

Asosiy mavzular

Polikristall kremniy olishning monosilanli texnologiyasi: Metallurgik kremniy va spirtlar bilan alkoksisilanlar sintezi, xlorid birikmalaridan foydalanmasdan yuqori sifatli polikristall kremniy olishning tejamkor usuli ishlab chiqilgan.
Ionli stimullashgan kremniyli strukturalarni yaratish usullari: Yarimo'tkazgichli materiallarga ion implantatsiyasi, molekulyar nurli epitaksiya usullarini qo'llash orqali yangi heterostrukturalarni hosil qilish, p-n o'tishlarini yaratish va materiallarning termovoltaik xossalarini yaxshilash.
Yupqa qatlamli strukturalarning o'sish mexanizmlari: Yarimo'tkazgichli materiallarning atom tuzilishi, defektlar hosil bo'lishi, har xil substratlarda o'sish xususiyatlari va bu jarayonlarga ion nurlarining ta'siri.