Наноразмерные структуры и ионноиплатированных пленках Si иGaAS
Ushbu monografiyada ultratovushli plenkalar va nanokristallar bilan ishlashning turli usullari, jumladan, ion implantatsiyasi, termodiffuziya, lazerli qayta ishlash va boshqa texnologiyalar, shuningdek, ularning xossalari va qo'llanilishi batafsil ko'rib chiqiladi. Kitobda silikon va gallium arsenid asosidagi nanostrukturalar, ularning morfologiyasi, elektr va optik xossalari, shuningdek, ulardan foydalanishning istiqbollari yoritilgan. Ishlanmalar va nazariy tahlillar natijalariga asoslanib, materiallar va nanostrukturalarni tayyorlashning optimal usullari va ularning xususiyatlarini nazorat qilishning asosiy usullari ko'rsatilgan.
Asosiy mavzular
- Nazariy tahlil: Kitobda nanokristall va plenkali silitsidlar va boshqa materiallarning elektron tuzilishi va xossalari chuqur tahlil qilingan. Ultratez yorug'lik nurlari, elektrongacha bo'lgan spektroskopiya, rentgenografiya va elektron mikroskopiya kabi usullar yordamida nanostrukturalarning morfologiyasi, elektr va optik xossalari o'rganilgan.
- Ion implantatsiyasi: Ion implantatsiyasi texnologiyasini qo'llash orqali nanokristall va plenkali silitsidlar, shuningdek, boshqa materiallarni olish usullari ko'rib chiqiladi. Turli implantatsiya dozalari va energiyalarning materiallar xossalari ustidan ta'siri tahlil qilinadi.
- Termodiffuziya va lazerli qayta ishlash: Nanokristall va plenkali silitsidlar olishda termodiffuziya va lazerli qayta ishlash usullari qo'llaniladi. Ushbu usullarning afzalliklari va kamchiliklari, shuningdek, ular bilan olingan materiallarning xossalari tahlil qilinadi.
- Kristall tuzilish va morfologiya: Silitsidli plenkalar va nanokristallarning kristall tuzilishi va morfologiyasi o'rganiladi. Mikrooftografiya va rentgenologik tekshiruvlar natijasida materiallarning tuzilishi va xarakteristik xususiyatlari aniqlanadi.
- Elektr va optik xossalari: Nanokristall va plenkali silitsidlarning elektr va optik xossalari o'rganiladi. Fotoelektron spektroskopiya, kvant nuqtalari va to'siqlar tahlili yordamida materiallarning elektron tuzilishi va xossalari aniqlanadi.