ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ РОР ПРОФИЛЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Fe В Si

Ushbu maqolada kremniy (Si) ga Fe (temir) ionlarini implantatsiya qilish jarayoni va undan keyingi termal ishlov berishning ta'siri Rutherford Backscattering (RBS) usuli yordamida o'rganilgan. Tadqiqotda Fe atomlarining taqsimlanish profillari, ularning konsentratsiyasi, irradiatsiya dozasi va ishlov berish haroratining ta'siri tahlil qilingan. Shuningdek, boshqa aralashmalar, xususan kislorodning taqsimlanishi va ularning o'zaro ta'siri ham ko'rib chiqilgan. RBS usulining qatlamlar bo'ylab aralashmalarning konsentratsiyasini aniqlashdagi samaradorligi ta'kidlangan.

Asosiy mavzular

Iон имплантацияси ва Fe atomlarining taqsimlanishi: Maqolada kremniyga Fe ionlarini implantatsiya qilish va bu jarayonda Fe atomlarining taqsimlanish profillari o'rganilgan. Turli dozalar va energiyalarda Fe ionlarining kremniy kristalli strukturasiga kirib borishi va ularning chuqurlik bo'yicha taqsimlanishi tavsiflangan.
Termal ishlov berishning ta'siri: Tadqiqotda termal ishlov berishning Fe atomlari va boshqa aralashmalar (jumladan, kislorod) taqsimlanishiga ta'siri o'rganilgan. Ishlov berish harorati va vaqtining ta'siri natijasida Fe atomlarining konsentratsiyasi va joylashuvi qanday o'zgarishi ko'rsatib berilgan.
Rutherford Backscattering (RBS) usuli: Maqolada aralashmalar konsentratsiyasini va ularning o'zaro ta'sirini o'rganish uchun RBS usulidan foydalanishning afzalliklari va imkoniyatlari haqida ma'lumot berilgan. Bu usulning qatlamlar bo'ylab yuqori aniqlik bilan ma'lumot olishi ta'kidlangan.