ВЛИЯНИЕ ТЕРМООТЖИГА НА СОСТОЯНИЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Mn В Si
Mazkur maqolada kremniy (Si) kristallariga ion usuli yordamida marganes (Mn) implantatsiya qilinganidan so'ng uning holati va taqsimlanishiga termik ishlov berishning ta'siri o'rganilgan. Rutherford orqali qaytib sochilish (ROS) usulidan foydalanib, turli implantatsiya dozalari va har xil haroratdagi termik ishlovlar natijasida marganes hamda boshqa aralashmalar (ayniqsa kislorod)ning konsentratsiya profillari aniqlangan. Tadqiqot natijalari shuni ko'rsatadiki, termik ishlov, xususan yuqori haroratlarda (900°C) marganesning taqsimlanishida sezilarli o'zgarishlarga olib keladi, uning maksimal konsentratsiyasi chuqurlikda joylashadi va umumiy miqdori kamayadi. Shuningdek, marganes va kislorodning o'zaro ta'siri ham o'riganilgan, ya'ni marganesning ko'paygan joylarida kislorodning kamayishi kuzatilgan. Maqolada ROS usulining aralashmalar kontsentratsiyasini aniqlashdagi samaradorligi ta'kidlangan.
Asosiy mavzular
- Ion implantatsiyasi va marganesning kremniydagi holati: Maqolada kremniy kristallariga marganes ionlarini implantatsiya qilish jarayoni va uning natijasida hosil bo'lgan profillar o'rganilgan. Implantatsiya dozasi va har xil haroratlarda termik ishlov berishning marganes atomlarining kremniy panjarasidagi joylashuviga va tarqalishiga ta'siri tahlil qilingan.
- Termik ishlovning ta'siri: Maqolada turli haroratlardagi (600°C va 900°C) termik ishlovlarning marganes va kislorodning konsentratsiya profillariga ta'siri ko'rsatilgan. Termik ishlov, ayniqsa yuqori haroratlarda, marganesning chuqurlik bo'yicha tarqalishini o'zgartirib, konsentratsiyasini kamaytirishi aniqlangan.
- Marganes va kislorodning o'zaro ta'siri: Tadqiqotda marganes implantatsiyasi paytida kislorodning holati ham o'rganilgan. Natijalar shuni ko'rsatadiki, marganesning maksimal konsentratsiyalangan chuqurliklarida kislorodning miqdori kamayadi, bu esa marganes kislorodni siqib chiqarishini bildiradi.
- Rutherford orqali qaytib sochilish (ROS) usuli: Maqolada aralashmalar kontsentratsiyasini va ularning chuqurlik bo'yicha taqsimlanishini aniqlashda Rutherford orqali qaytib sochilish (ROS) usulining samaradorligi va imkoniyatlari ko'rsatib berilgan.