MDY-strukturalarning xossalarini yuqori chastotali usul yordamida tadqiq qilish usullarini o’rganish

Ushbu kitob yarimo'tkazgichli materiallar va yarimo'tkazgichli asboblar, xususan diodlarining xossalarini sig'imli usullar yordamida o'rganishga bag'ishlangan. Unda sig'imli usullarning nazariy asoslari, qo'llanilish sohalari, xususan yarimo'tkazgichli diodlarning volt-farad xarakteristikalarini o'rganish va CHSNSS (DLTS) usuli yordamida chuqur sathli nuqsonlarni aniqlash metodikasi batafsil yoritilgan. Kitobda, shuningdek, namunalarni tayyorlash texnologiyalari va o'lchash metodikasi haqida ham ma'lumot berilgan.

Asosiy mavzular

I-BOB. SIG'IMLI USULLARNING HOZIRGI HOLATI: Bu bobda yarimo'tkazgichli materiallar va asboblar parametrlarini aniqlashda sig'imli usullarning o'rni, ularning qo'llanilish sohalari hamda usullarning rivojlanishi haqida ma'lumot berilgan. Xususan, Volt-farad xarakteristika usuli va chuqur sathli nostatsionar sig'imli spektroskopiya usuli (CHSNSS, DLTS) batafsil ko'rib chiqilgan.
II-BOB. NAMUNALARNI TADQIQOT QILISH USULLARI VA ULARNI TAYYORLASH TEXNOLOGIYASI: Bu bobda yarimo'tkazgichlarda chuqur sathli nuqsonlarni aniqlash usullari, jumladan sig'imli usullar va ularning namunalarni tayyorlash texnologiyalari haqida ma'lumot berilgan. Xususan, chuqur sathli nuqsonlarni tadqiq qilishning sig'imli usullari, p-n o'tish sig'imi, temperatura o'zgarganda chuqur sathli nuqsonlarni qayta zaryadlash jarayoni, hamda omik kontakt va p-n o'tishni olish usullari batafsil yoritilgan.
III-BOB. SIG'IMLI USULLAR YORDAMIDA DIODLARNING PARAMETRLARINI OʻRGANISH: Uchinchi bobda sig'imli usullar yordamida diodlarning volt-farad xarakteristikalarini o'rganish va chuqur sathlarning parametrlarini aniqlash usullari ko'rib chiqilgan. Xususan, titan bilan legirlangan kremniyning diodlari tayyorlanib, ularning C-V xarakteristikalarini o'rganish va CHSNSS usuli yordamida chuqur sathli nuqsonlarni aniqlash natijalari keltirilgan.