MDY-strukturalarning xossalarini yuqori chastotali usul yordamida tadqiq qilish
Mazkur bitiruv malakaviy ishida yarimo'tkazgichli materiallar va ulardan tayyorlangan diodlarning xossalari, jumladan, chuqur sathli nuqsonlarni aniqlash uchun sig'im usullaridan foydalanish o'rganilgan. Ishda yarimo'tkazgichli materiallar va ularga asoslangan qurilmalarning tadqiqot usullari, jumladan, volt-farad xarakteristikasi va chuqur sathli nostatsionar sig'im spektroskopiyasi (CHSNSS) usullari batafsil ko'rib chiqilgan. Tadqiqotlar natijasida titan bilan legirlangan kremniy diodlarining chastotaviy va haroratga bog'liq xossalari o'rganilgan. Chunonchi, CHSNSS usuli yordamida namunalarning tipini aniqlash mumkinligi ko'rsatilgan.
Asosiy mavzular
- Sig'imli usullarning hozirgi holati: Bu bobda yarimo'tkazgichli materiallar va asboblarning turli xil parametrlarini aniqlashda sig'imli usullarning o'rni, ularning qo'llanilishi va rivojlanish tarixi ko'rib chiqilgan. Sig'imli usullarning afzalliklari, jumladan, kichik konsentratsiyadagi nuqsonlarni aniqlash qobiliyati ta'kidlangan. Volt-farad xarakteristika usuli va chuqur sathli nostatsionar sig'im spektroskopiyasi (CHSNSS) usullari ushbu ishda qo'llaniladigan asosiy usullar sifatida ko'rsatilgan.
- Namunalarni tayyorlash texnologiyasi va ularni tadqiqot etish usullari: Bu bobda yarimo'tkazgichli materiallardagi chuqur sathli nuqsonlarni tadqiq qilish usullari, xususan, sig'im usullari batafsil tahlil qilingan. Namunalarni tayyorlash texnologiyalari, jumladan, titan atomlarini kremniyga legirlash usullari va ularning xossalari ko'rib chiqilgan. Namunalarni tadqiq etish uchun qo'llaniladigan usullar, jumladan, volt-farad xarakteristikasini o'lchash va CHSNSS usulini qo'llash metodikasi bayon etilgan.
- Sig'imli usullar yordamida diodlarning parametrlarini o'rganish: Uchinchi bobda olingan natijalar tahlil qilingan. Titan bilan legirlangan kremniy diodlarining volt-farad (C-V) xarakteristikalari va CHSNSS spektri oʻrganilgan. Tajribalar natijasida titan atomlari ta'sirida hosil bo'lgan chuqur sathli nuqsonlarning energiyalari va tutish kesimlari aniqlangan. CHSNSS usulining namunalarning tipini aniqlashdagi samaradorligi koʻrsatilgan.