Azot oksidlari miqdorini aniqlash uchun yarim o’tkazgichli sensor

Ushbu maqolada gaz muhitida azot oksidlarini aniqlash uchun yupqa qatlamli yarimo'tkazgichli sensorlar yaratishga bag'ishlangan tadqiqotlar keltirilgan. Sensorlarning sezgirligini oshirish uchun turli qalinlikdagi metall oksidlaridan yupqa qatlamli binar strukturalar yaratish usuli qo'llanilgan. Atmosfera havosidagi azot oksidlarini aniqlash uchun sensorlar yaratish, ularning xususiyatlarini takomillashtirish masalalari ko'rib chiqilgan. TiO2 va SnO2 materiallaridan vakuum sharoitida termik bug'latish orqali yupqa qatlamlar olingan. Olingan binar yupqa qatlamlarning qarshilik xususiyatlari turli gazlarda o'rganilgan hamda sensor elementi sifatida qo'llanilishi mumkinligi ko'rsatilgan.

Asosiy mavzular

Yarimo'tkazgichli sensorlar yaratish: Gazli muhitda azot oksidlarini aniqlash uchun yarimo'tkazgichli sensorlar yaratish usullari va texnologiyalari.
Sensorlarning sezgirligini oshirish: Sensorlarning sezgirlik yuzasini oshirish uchun metall oksidlarining turli qalinlikdagi yupqa binar qavatlarini olishga asoslangan usullar.
Azot oksidlarini aniqlash: Atmosfera havosidagi azot oksidlarini aniqlash uchun mo'ljallangan sensorlar va ularning xususiyatlari.
Materiallar va usullar: TiO2 va SnO2 larning turli qalinlikdagi yupqa binar qavatlarini vakuumli sharoitda termik bug'latish usulida olish texnologiyasi.
Yupqa qatlamlarning xususiyatlari: Hosil qilingan binar yupqa qatlamning qarshiligining o'zgarishi turli xil gazlarda o'rganilgan.