Подготовка микрошлифов с покрытием различного состава
Ushbu hujjat - O'zbekiston Respublikasi oliy va o'rta maxsus ta'lim vazirligi tomonidan chop etilgan Toshkent davlat aviatsiya institutining dissertatsiyasi bo'lib, u turli xil tarkibdagi qoplamalar bilan mikrosxemalarni tayyorlashga bag'ishlangan. Unda magnetron purkashning tarkibi va qoplamalar xususiyatlariga ta'siri, qoplama olish usullari (purkash, cho'ktirish, plazma purkash), eksperimental tadqiqotlar o'tkazish metodologiyasi, jumladan, mikrosxemalarni tayyorlash, qoplama qalinligini aniqlash, mikroqattiqlikni aniqlash, fazaviy va kimyoviy tarkibni aniqlash, korroziyaga chidamlilikni aniqlash kabi masalalar ko'rib chiqiladi. Shuningdek, tadqiqotlar natijalari, xulosalar va foydalanilgan adabiyotlar ro'yxati keltirilgan.