Ionlar implantatsiyasi yordamida ferromagnit tabiatga ega bo’lgan namunalar olish texnologiyasi
Ushbu kitob, asosan, yarim o'tkazgichlar fizikasi va texnologiyasiga bag'ishlangan bo'lib, ion implantatsiyasi usulining nazariy va amaliy jihatlarini o'rganadi. Kitobda ionlarning qattiq jism bilan o'zaro ta'siri, ion implantatsiyasi jarayonining asoslari, kristallarda kanallanish va tormozlanish, nuqsonlar hosil bo'lishi, amorf holatga o'tish kabi masalalar ko'rib chiqiladi. Shuningdek, ion implantatsiyasi orqali magnit xususiyatli materiallar olish texnologiyasi, kvant nuqtalarining hosil bo'lishi, kremniyga turli kirishmalar kiritishning o'ziga xos jihatlari tahlil etiladi. Kitob, mikroelektronika va spintronika sohalari uchun yangi materiallar yaratish istiqbollarini o'rganishga qaratilgan.