Состав и структура наноразмерных слоев Ga 1−xNax As, созданныхв приповерхностной области GaAs имплантацией ионов Na +
Ushbu maqola Si(111) monokristallining yuzasini tozalashning yangi usulini taqdim etadi. Usul past energiyali Ba ionlari bilan bombardimonlash va yuqori haroratli termal ishlov berishni o'z ichiga oladi. Ushbu usul materialning tozaligini va kristalli tuzilishini yaxshilashga qaratilgan.