Кремнийнинг электрофизик хоссаларига ноёб ер элементлари-нинг ион имплантация-сининг таъсирини ўрганиш
Ushbu kitob kremniyning elektrofizik xossalariga noyob yer elementlari ion implantatsiyasining ta'sirini o'rganishga bag'ishlangan. Kitobda legirlash texnologiyalari, tadqiqot metodlari, diffuziya va ion implantatsiyasi jarayonlarida kremniyning xossalari, shuningdek termik ishlovning ta'siri batafsil yoritilgan. Tadqiqot natijalari va xulosalar keltirilgan, adabiyotlar sharhi va chop etilgan ilmiy ishlar ro'yxati taqdim etilgan.