Наноразмерные структуры и ионноиплатированных пленках Si иGaAS
Ushbu monografiyada ultratovushli plenkalar va nanokristallar bilan ishlashning turli usullari, jumladan, ion implantatsiyasi, termodiffuziya, lazerli qayta ishlash va boshqa texnologiyalar, shuningdek, ularning xossalari va qo'llanilishi batafsil ko'rib chiqiladi. Kitobda silikon va gallium arsenid asosidagi nanostrukturalar, ularning morfologiyasi, elektr va optik xossalari, shuningdek, ulardan foydalanishning istiqbollari yoritilgan. Ishlanmalar va nazariy tahlillar natijalariga asoslanib, materiallar va nanostrukturalarni tayyorlashning optimal usullari va ularning xususiyatlarini nazorat qilishning asosiy usullari ko'rsatilgan.