🔍

Исследование влияния технологических параметров ионно-плазменного процесса на состав покрытий

Ushbu kitob ion-plazma texnologiyasi yordamida turli materiallar (sirkoniy, niobiy va ularning nitridlari, oksidlar) qoplamalarini hosil qilish jarayonlarini o'rganishga bag'ishlangan. Kitobda qoplama hosil qilishning texnologik parametrlari (tok kuchi, vaqt) va ularning qoplamaning qalinligi, mikroqattiqligi, korroziyaga chidamliligi kabi xususiyatlariga ta'siri ko'rib chiqiladi. Shuningdek, qoplamalarning fazoviy va kimyoviy tarkibi, turli uskunalar va tadqiqot metodlari (elektron mikroskopiya, rentgen nurlari analizi) haqida ma'lumotlar keltirilgan.

🔑 Kalit soʻz🎯 100.0%

ВЛИЯНИЕ ТЕРМООТЖИГА НА СОСТОЯНИЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Mn В Si

Ushbu maqola kremniyga Mn ionlarini implantatsiya qilish va keyinchalik termik ishlov berishning ta'sirini o'rganish natijalarini keltiradi. Tadqiqotda Ruterfordning orqaga sochilish (POP) usulidan foydalanilgan. Tadqiqotlar shuni ko'rsatdiki, Mn implantatsiyasi va termik ishlov berish kremniy kristall panjarasidagi Mn va kislorodning tarqalishiga ta'sir qiladi. Aniqlanishicha, Mn atomlari kremniy atomlari bilan o'zaro ta'sirlashib, ularning joylashuvini o'zgartirishi mumkin. Termik ishlov berish esa bu ta'sirni kuchaytiradi va Mn ning kristall panjarasidagi tarqalishini o'zgartiradi. Ushbu tadqiqot natijalari yarim o'tkazgich texnologiyasida qo'llaniladigan Mn implantatsiyasi va termik ishlov berish jarayonlarini tushunish uchun muhim ahamiyatga ega.

🔑 Kalit soʻz🎯 100.0%

ВЛИЯНИЕ ТЕРМООТЖИГА НА СОСТОЯНИЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Mn В Si

Mazkur maqolada kremniy (Si) kristallariga ion usuli yordamida marganes (Mn) implantatsiya qilinganidan so'ng uning holati va taqsimlanishiga termik ishlov berishning ta'siri o'rganilgan. Rutherford orqali qaytib sochilish (ROS) usulidan foydalanib, turli implantatsiya dozalari va har xil haroratdagi termik ishlovlar natijasida marganes hamda boshqa aralashmalar (ayniqsa kislorod)ning konsentratsiya profillari aniqlangan. Tadqiqot natijalari shuni ko'rsatadiki, termik ishlov, xususan yuqori haroratlarda (900°C) marganesning taqsimlanishida sezilarli o'zgarishlarga olib keladi, uning maksimal konsentratsiyasi chuqurlikda joylashadi va umumiy miqdori kamayadi. Shuningdek, marganes va kislorodning o'zaro ta'siri ham o'riganilgan, ya'ni marganesning ko'paygan joylarida kislorodning kamayishi kuzatilgan. Maqolada ROS usulining aralashmalar kontsentratsiyasini aniqlashdagi samaradorligi ta'kidlangan.

🔑 Kalit soʻz🎯 100.0%

ВЛИЯНИЕ ТЕРМООТЖИГА НА СОСТОЯНИЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Mn В Si

Ushbu tadqiqot maqolasi kremniy (Si) kristalliga ionli implantatsiya qilingan marganets (Mn) atomlarining holati va ularning termik ishlov berish ta'sirini o'rganadi. Tadqiqotda Rutherford orqaga sochilish (ROP) usuli yordamida Mn va boshqa aralashmalar, xususan, kislorodning konsentratsiyasini chuqurlik bo'yicha taqsimlanishi o'rganildi. Turli implantatsiya dozalari va termik ishlov berish haroratlarining ta'siri tahlil qilindi. Natijalar shuni ko'rsatdiki, marganets va kislorodning taqsimlanishi bir-biriga bog'liq bo'lib, marganetsning konsentratsiyasi yuqori bo'lgan joylarda kislorod kamayadi va aksincha. Shuningdek, ROP usulining aralashmalar konsentratsiyasini va ularning o'zaro ta'sirini aniqlashdagi samaradorligi ta'kidlangan.

🔑 Kalit soʻz🎯 100.0%

ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ РОР ПРОФИЛЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Fe В Si

Ushbu maqolada "Rutherford backscattering" (RBS) usuli yordamida Si (111) kristalli asosidagi kremniyga Fe ionlarini implantatsiya qilish natijasida Fe atomlarining taqsimlanish profillari o'rganilgan. Tadqiqotda Fe atomlarining taqsimlanishiga implantatsiya dozasi va termik ishlov berish haroratining ta'siri ko'rib chiqilgan. Shuningdek, termik ishlov berish Fe va boshqa aralashmalar, xususan kislorodning taqsimlanishiga qanday ta'sir qilishi o'rganilgan. RBS usulining dopant aralashmalarining konsentratsion taqsimlanishi va aralashmalar orasidagi o'zaro ta'sirni tahlil qilishdagi imkoniyatlari ham ko'rsatib o'tilgan.

🔑 Kalit soʻz🎯 100.0%

ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ РОР ПРОФИЛЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Fe В Si

Ushbu maqola Rutherford backscattering (RSP) usuli yordamida kremniyga (Si) Fe atomlarini ion bilan implantatsiya qilish natijasida hosil bo'lgan taqsimot profillarini o'rganadi. Tadqiqotda implantatsiya dozasi va termik ishlov berish haroratining Fe va boshqa aralashmalar, xususan kislorodning taqsimlanishiga ta'siri ham o'rganilgan. RSP usulining dozalovchi aralashmalarning konsentratsiyasini va aralashmalar o'zaro ta'sirini tahlil qilishdagi imkoniyatlari ham ko'rsatib berilgan.

🔑 Kalit soʻz🎯 100.0%

ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ РОР ПРОФИЛЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ АТОМОВ Fe В Si

Ushbu maqolada kremniy (Si) ga Fe (temir) ionlarini implantatsiya qilish jarayoni va undan keyingi termal ishlov berishning ta'siri Rutherford Backscattering (RBS) usuli yordamida o'rganilgan. Tadqiqotda Fe atomlarining taqsimlanish profillari, ularning konsentratsiyasi, irradiatsiya dozasi va ishlov berish haroratining ta'siri tahlil qilingan. Shuningdek, boshqa aralashmalar, xususan kislorodning taqsimlanishi va ularning o'zaro ta'siri ham ko'rib chiqilgan. RBS usulining qatlamlar bo'ylab aralashmalarning konsentratsiyasini aniqlashdagi samaradorligi ta'kidlangan.

🔑 Kalit soʻz🎯 100.0%

Ионно-плазменные методы обработки поверхностей деталей летательных аппаратов

Kitobda samolyot qismlarining sirtini ishlov berish uchun ion-plazma usullarining nazariy va amaliy asoslari, xususan, qoplamalar hosil qilish, sirtlarni mustahkamlash hamda detallarni tiklash masalalari ko'rib chiqilgan. Ushbu usullar yordamida qoplama hosil qilish, magnitli purkash, ionli cho'ktirish va vakuumli-yoy usullari bilan ishlash tamoyillari, shuningdek, qoplamalar xususiyatlariga turli omillarning ta'siri tahlil etilgan. Kitob muhandis-texnik xodimlar, tadqiqotchilar va talabalar uchun foydali bo'lishi mumkin.

🔑 Kalit soʻz🎯 78.7%