Исследование влияния технологических параметров ионно-плазменного процесса на состав покрытий
Ushbu kitob ion-plazma texnologiyasi yordamida turli materiallar (sirkoniy, niobiy va ularning nitridlari, oksidlar) qoplamalarini hosil qilish jarayonlarini o'rganishga bag'ishlangan. Kitobda qoplama hosil qilishning texnologik parametrlari (tok kuchi, vaqt) va ularning qoplamaning qalinligi, mikroqattiqligi, korroziyaga chidamliligi kabi xususiyatlariga ta'siri ko'rib chiqiladi. Shuningdek, qoplamalarning fazoviy va kimyoviy tarkibi, turli uskunalar va tadqiqot metodlari (elektron mikroskopiya, rentgen nurlari analizi) haqida ma'lumotlar keltirilgan.